Qu'est-ce que la photolithographie ?
La photolithographie est l'un des processus importants dans la production de circuits intégrés (CI ou puces). Dites simplement qu'il s'agit du processus de copie d'un motif de circuit sur un substrat à l'aide du photomasque et de la résine photosensible.
Le substrat sera peint sur une couche isolante de dioxyde de silicium et une résine photosensible. La résine photosensible peut être facilement dissoute avec un révélateur après avoir été exposée à la lumière UV, après dissolution et gravure, le motif du circuit sera laissé sur le substrat.
Qu’est-ce que le photorésist ? Pourquoi la longueur d'onde UV de 500 nm doit-elle être bloquée ?
La résine photosensible est combinée avec des résines, des solvants et des additifs. La plage de sensibilité à la lumière de la résine photosensible est de 200 nm-500nm. Par conséquent, de nombreux laboratoires de semi-conducteurs adopteront une lumière jaune qui bloque la longueur d'onde UV de 500 nm pour éviter les situations de surexposition ou d'exposition prématurée de la résine photosensible.
